格棋化合物半導體榮獲第21屆國家新創獎肯定。資料照
台灣專業碳化矽(SiC)長晶技術廠格棋,以「低缺陷密度八吋碳化矽晶圓技術(Low Defect Density of 8-Inch Silicon Carbide Wafer Technology)」榮獲第21屆國家新創獎-企業新創獎之肯定,該項技術不僅能提高能源效率與減少碳排放,更能促進綠色技術的普及,對於推動地球永續有積極助益。
格棋副總經理賴柏帆表示,格棋核心團隊投入高品質碳化矽(SiC)長晶技術研發將近10年,此次獲獎是對格棋在創新技術和卓越品質方面的高度肯定,也證明致力推動綠色科技和永續發展正走在對的道路上。
2050淨零碳排已是全球共識,碳化矽(SiC)在提升能源效率、推動可再生能源發展、加速電動車普及、延長設備壽命及減少資源浪費等方面具有顯著優勢。這些特性使其在實現ESG目標中扮演關鍵角色,特別是在應對氣候變遷、推動綠色能源過渡以及促進社會可持續性方面,碳化矽(SiC)材料都將成為關鍵技術。
由於碳化矽(SiC)晶圓的生產涉及高溫條件和複雜製程工藝,致使良品率較低且低缺陷密度產率低;然而,格棋憑藉將近10年的高品質碳化矽(SiC)長晶技術研發投入,透過熱場參數控制、原材料物性控管、籽晶沾黏技術、模組設計與組裝等四大優勢,有效控制大尺寸碳化矽晶圓的致命缺陷,展現商用大尺寸晶圓的製造能力。
尤其在4H單晶碳化矽的領域中,晶圓性能接近甚至超越8吋碳化矽長晶技術性能的水準。此外,格棋更在BPD(基底面差排)、TED(刃型差排)、TSD(螺旋差排)、EPD(蝕刻坑密度)四項密度測試中,展現媲美一線大廠的低缺陷密度產品品質,再次證明格棋擁有國際級的競爭實力。
碳化矽晶圓(SiC Wafer)、碳化矽籽晶(SiC Seed)和碳化矽磊晶晶圓(SiC EPI Wafer),並透過虛擬IDM模式,整合上下游價值鏈,依照客戶屬性,整合包含加工、磊晶、設計、製造、元件等廠商,簡化服務窗口與供應鏈服務客戶。展望未來,格棋將持續推進技術創新,期盼帶動化合物半導體產業的長遠發展。