荷蘭半導體設備商艾司摩爾(ASML)示意圖。路透社
荷蘭政府今(6/30)正式宣布先進半導體製造設備出口限制,9月1日起生效。荷蘭大廠艾司摩爾(ASML)首當其衝,未來若要將先進曝光機輸往中國,必須先申請許可。
《彭博新聞》報導,荷蘭今天在官方公報上公布了新的出口法規。如先前消息人士所透露,這些規定裡沒有具體提及中國或艾司摩爾,但將會讓艾司摩爾的深紫外光曝光機(DUV)更難銷售給中國,若要出口,必須事先申請許可證。
荷蘭貿易部長施萊納馬赫(Liesje Schreinemacher)在聲明裡表示,「採取這一步是為了國安,現在相關公司知道自己的處境了,這是件好事,如此一來它們就可以及時因應」。
艾司摩爾是全球半導體供應鏈裡最重要的一環,因為它幾乎壟斷了曝光機的生產。據先前報導,荷蘭這項措施,鎖定的是艾司摩爾3款浸潤式DUV,型號為:TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i和NXT:2100i。
浸潤式DUV是艾司摩爾第二先進的設備,最先進的極紫外光曝光機(EUV)以於今年3月禁止對中國出口。
艾司摩爾先前表示,這些限制不會對公司今年、或更長期的財務狀況造成重大影響。
美國政府去年10月開始大力打擊中國半導體發展,限制美企出口設備和技術,並推動其他國家跟進。荷蘭與日本今年初原則上同意加入,日本針對23項設備的限制令將於7月下旬生效;路透社29日還報導,美國也可能在7月下旬再推出一波限制,使艾司摩爾難以出口一些舊型曝光機給6家中國半導體廠,包含中國最大半導體商中芯國際的工廠。
艾司摩爾的設備裡含有美國零件。美國官員去年已揚言,如果盟友不配合美國的出口限制,可能會直接禁止外國企業向中國銷售有美國技術或零件的設備,即使那些技術或零件只佔了很少的部分。