【一文看懂】做馬桶的也能做半導體？日免治馬桶翹楚現要積極搶進

日本知名免治馬桶大廠TOTO也要做半導體？製造半導體生產設備零組件的TOTO，其實涉足半導體業已有數十年，拜晶片熱潮所賜，TOTO決定擴大事業部門，發揮其擅長的陶瓷材料製造，擴大陶瓷在尖端晶片的應用。

全球晶片正熱　TOTO也要跟進

日經亞洲報導，TOTO（公司全名東陶機器株式會社）早在1980年代就進入半導體界，為業界開發出高性能的精密陶瓷，但事業部門始終不賺錢。 直到2020年代晶片一躍而為全球兵家必爭之地，TOTO半導體事業部門的營業收益才跟著大增。

TOTO的主力產品，是半導體生產設備中的「靜電吸盤」（electrostatic chucks），其功能是在電路蝕刻過程中吸附晶片使其位置固定，同時保持晶片溫度分佈均勻。生產設備內部會產生電漿，形成TOTO所描述的類似閃電的條件。

名古屋大學教授關根誠指出，製造尖端記憶體，在單一晶片可上堆疊逾百層記憶胞，「隨著製程環境愈來愈嚴苛，靜電吸盤就需要更耐用」。

靠陶瓷技術起家　掌握關鍵能力

高性能陶瓷雖然夠堅硬，但也易碎，而TOTO可以製造出更抗裂的均質材料。TOTO充分發揮製造馬桶累積的專業技術與經驗，將技術能力延伸到成型和燒製。

TOTO進入半導體業初期曾遭遇重大難關，雖然一開始以供應零組件起步，但銷售疲軟。之後雖靠著靜電吸盤增加營收，但產量跟不上訂單需求。

TOTO立刻從清潔事業部門搬救兵。為了製造出高品質的馬桶，該公司會使用高精度顯微鏡檢查馬桶，以消除馬桶壁可能導致汙垢沾黏的細微瑕疵。

導入顯微鏡檢查後，TOTO就在靜電吸盤製程中發現零件上有不少外來物質，例如化妝品粉末。而且當時生產線都是人工，無塵室的標準很低，這也是在顯微鏡下檢查出來的問題。

看好半導體只盛不衰　TOTO大舉投資並擴張事業

TOTO在20世紀初曾轉向陶瓷餐具事業，現在則把眼光放在半導體。為了提高競爭力，TOTO在2020年斥資118億日圓（約25.1億元台幣），在大分縣的企業園區建造一座新廠，且在2020年4月至2024年4月間擴大事業部人力規模兩成，未來將加入更多生力軍。

TOTO社長清田德明去年10月在法說會上表示：「建造一座新廠的計畫正在討論中。」

近年日本家用品市場萎縮及中國經濟走緩，該公司將中國區營收及家用品事業的利潤投資於陶瓷事業。

如今TOTO也將事業放眼晶片製程下游的切割及封裝，例如立體堆疊需要新的載板製程技術。

TOTO陶瓷事業企畫部部長龜島順次指出：「未來陶瓷將在（晶片）下游製程的設備中用於更多地方。」

TOTO估計，該事業部的2024財年營業利潤將為200億日圓（約42.5億元台幣），營業利潤率高達近40%，遠高於公司估計的7%。並且，TOTO估計2026財年的營業利潤可達250億日圓，同時將擴大事業，以穩定業務。

不過，全球晶片競爭益發激烈，設備零組件亦然，在靜電吸盤製造方面，TOTO的對手是同樣出身日本、與產業有深厚連結的「新光電氣」（SHINKO），還有美國的「應用材料」 (Applied Materials)。

清田指出：「我們決定長期繼續適合TOTO的事業，我們有技術優勢，亦具有成長潛力。」

看好半導體事業的他還說：「即使有高低起伏，半導體無疑仍將維持指數級成長。」