台積電3招拚永續：推動EUV動態節能、改良無塵室空調、研發冷卻液回收

台積電今日（9/30）發布永續電子報，該公司藉由 EUV 動態省電、創新冷卻液技術、改良無塵室空調設計等實質做法，來提升能源效率，同時強化資源再生。

1.推動EUV動態節能

提升能源使用效率是台積電落實淨零排放的重要策略之一。因應先進製程演進，廠內極紫外光（Extreme Ultraviolet, EUV）微影設備數量持續增加，為兼顧技術發展與環境永續，台積電攜手供應商推動「EUV動態節能計畫」，經實測產線設備每年可節省的能源占其全年總能源消耗8%。


今年9月起，已陸續導入晶圓十五B廠、晶圓十八A廠及晶圓十八B廠，今年底將全面導入海內外所有EUV設備，並列為新建廠區標準設計，預計至2030年可累積節電1億9,000萬度，相當於減碳10萬1,000公噸，達到節能與產能並重的雙重效益。

台積電持續擴大節能範疇，除EUV微影設備動態節能外，亦評估導入深紫外光（Deep Ultraviolet, DUV）設備及微影製程應用以外的模組設備，進一步提升整體生產的能源使用效率，以創新技術實踐永續發展。

2.改良無塵室空調設計

台積電針對無塵室內輸送空氣的風機過濾組（Fan Filter Unit, FFU），在不改變尺寸及運轉需求的前提下，攜手供應商成功優化風機結構，將運轉效率由55%提升至60%以上，經實測單一廠區平均年省156萬度電、減少805公噸二氧化碳當量；今年9月，該技術已導入晶圓二十廠第1期與第2期廠區、晶圓二十二廠第1期與第2期廠區、先進封測七廠第1期廠區，共計約4萬4,000台，持續實踐綠色創新。


台積電指出，晶圓廠房內的無塵室需保持極高的空氣潔淨度，風機過濾組能有效過濾空氣中的微小顆粒，維護製程環境品質。為精進運轉效能，台積電優化風機過濾組的設計，將直流無刷馬達的結構由內轉式改為外轉式，以增強轉軸的力矩，確保風機運作所需的高扭矩性能；同時，將扇葉直徑從400公厘延伸至448公厘，增加出風截面積，強化氣流的穩定性。此外，結合渦殼風道流場模擬，有效減少擾流、提高出風量，進一步提升空氣循環效率並降低能耗。

台積電持續擴大節能範疇，除改善風機輸送效能外，亦評估膜板加濕器及空氣濾網的設計與材質改進方案，以測試其節能減碳的可行性；透過確保製程穩定的同時，全面提升空調系統的能源使用效率，實現綠色製造的永續目標。

3.冷卻液回收技術再創新

為提升資源循環效益，台積電攜手供應商創新研發「冷卻液（Coolant）回收技術」，將原本需報廢的製冷機冷卻液進行過濾與純化，再次回用於半導體製程，不僅降低廢棄物委外處理量，亦減少供應商運輸新液過程產生的碳排放；今年，回收冷卻液已成功導入部分台灣廠區十二吋晶圓廠使用，預估年減碳約4萬公噸，深化資源再生價值。


半導體製造設備運行時會產生大量熱能，須透過冷卻系統有效控溫，以避免過熱影響設備性能與製程精度。過往製冷機報廢時，冷卻液通常一併處理，但冷卻液因具高度穩定性，即使長期使用仍能保持原有特性。

為此，台積電與供應商合作投入回收技術研究，先經由化性與物性分析，評估回收冷卻液與新品冷卻液的性能差異，驗證其循環使用的可行性；研究過程中，從冷卻機內汲取欲報廢冷卻液，並進行多重過濾純化、參數調整及最佳化，以最大限度減少回收過程中的液體流失及性能衰減，有效確保冷卻液回收率及穩定使用效能，為半導體產業邁向低碳未來注入新動力。