《造光者》曝台積電、艾司摩爾38年前合作淵源　張忠謀嚴苛要求這件事！

描述荷蘭半導體巨擘艾司摩爾（ASML）崛起故事的《造光者; Focus: The ASML Way》一書近日出版。作者馬克．海因克（Marc Hijink）在書中揭露38年前，艾司摩爾與台積電開啟合作因緣的秘辛，張忠謀為甚麼答應用艾司摩爾的機台？2家公司如何相互扶持，一起成長。本文帶讀者一一了解。



馬克在《造光者》第一部〈好構想，爛計畫〉章節中寫道，1970年代後期，隨著Sony、JVC、TOSHIBA等日本企業崛起，位於荷蘭的飛利浦因營業額太過依賴消費性電子產品，大刀闊斧精簡組織，打算把成本高昂的部門分拆出去，成立合資企業，再逐步出售這些事業的股份；而出自NatLab（飛利浦物理實驗室）的曝光機部門就是首波被鎖定的對象。

ASML從飛利浦曝光機部門獨立出來！

當時，飛利浦科學與工業部門副總維姆．特羅斯是主要推手，他看出曝光機技術的潛力，在荷蘭經濟部的促成下，與ASM（先藝）合作，雙方各出資750萬荷蘭盾（約目前台幣1.33億元），各自取得合資子公司50%股份，新公司名為「先進半導體材料微影;Advanced Semiconductor Materials Lithography」，公司成立初期原以ALS為縮寫，後來發現此縮寫與「漸凍症」同名，改為ASM微影，1996年正式更名為ASML，沿用至今。

張忠謀為台積電籌資　找上飛利浦

1987年，張忠謀正在籌資成立台積電，找上了飛利浦。馬克在書中寫道，彼時，張忠謀正在尋找一個來自產業界、有經驗的大型投資者。日本方面興趣缺缺，與英特爾、德儀的協商都破局了。「在他眼中，飛利浦是二線晶片製造商中的佼佼者，這個評價算不上恭維，但飛利浦確實是僅次於理想選項的最佳選擇。」

後來，飛利浦取得台積電28%股權，也提供相關技術授權。這個合作關係為台積電與艾司摩爾之間開啟了大門。不過，張忠謀並未立即同意，他需要先確認設備的品質。

一通電話開啟台積電、艾司摩爾合作大門！

那時，參與ASML草創的執行長特羅斯即將退休！馬克在書中寫道，在此關鍵時刻，特羅斯正與妻子在峇里島度假。當他在觀賞舞蹈表演時，有人輕拍肩膀對他說：「先生，有您的電話」。那通電話來自ASML總部維荷芬，特羅斯在電話中告訴張忠謀，艾司摩爾願意免費提供第一個機台，給台積電試用，「不成功就不收費！」張忠謀爽快答應了。

那批來自台灣的訂單，讓ASML得以度過草創期。1988年，首批訂單意外出現後續發展；台積電晶圓廠發生大火！數十台機台嚴重受損。ASML必須立刻再交付另一批機台，而所有費用由保險公司承擔。

ASML：我們挺他們，他們也挺我們！

「接下來的歲月裡，台積電在張忠謀領導下，成為全球最先進的晶片製造商。」而台積電與ASML的合作關係也日益深厚，台灣的晶片產業開始蓬勃發展。這兩家公司意外地志同道合，彼此完全依賴對方，一起追求每小時不斷產出無瑕疵晶圓的目標。「我們挺他們，他們也挺我們！」這句話成為ASML員工的座右銘，也成為主宰晶片市場的秘密公式。

張忠謀：沒人用過ASML曝光機！台積電是小公司必須冒險

張忠謀也在《自傳》下冊中寫道，台積電晶圓二廠在1990年開始運作，從此開啟了「咆哮九〇年代」。使台積電能夠咆哮的原因之一，是二廠的創新，其中包括兩個相當重要創新式的決定，首先是決定啟用矽谷Asyst公司發明的SMIF（袖珍潔淨箱）；台積電二廠是世界上第一家在量產環境內使用SMIF的工廠；之後半導體同業也陸續採用。

第二個決定是採用艾司摩爾的曝光機，這種曝光機在晶圓生產線上，是所有設備中最昂貴的。而在那個年代，「日本Nikon、佳能幾乎佔有全世界曝光機市場。」張寫道，「艾司摩爾卻是一家新公司。巧合的是，它和台積電一樣，也是飛利浦投資的公司。」

當時，ASML將試用機台交給台積電後，由總經理魏謀和曾繁城詳細研究，他們認為艾司摩爾機器確有技術優點。但唯一的問題是「沒人用過艾司摩爾的曝光機，台積電會是第一家！」。

張忠謀認為，「小公司如要追上大公司，必須要在對的地方做大公司不願或不敢做的事，也就是必須要冒險，包括採用SMIF和ASML機台皆是如此」。後來證明他確實賭對了。

「此後三十幾年，艾司摩爾一直是台積電最主要且最重要的曝光機供應商；同時，艾司摩爾的技術也一直領先佳能與Nikon。」張寫道，台積電與艾司摩爾幾乎同時誕生，一起成長，一直都以夥伴關係相處。