【零廢供應鏈點將4-1】台積電回收「廢溶劑」產出高溫煙道氣　最終由碳捕捉「以廢養綠」

護國神山台積電近日宣布中科首座「零廢製造中心」啟動商轉，目前零廢中心已有3家公司進駐，包括長春石化、成信實業與立盈環保科技，成為第一批零廢供應鏈業者，與台積電聯手建造「氟化鈣污泥回收廠、氧化矽污泥回收廠、有機溶劑熱回收廠、異丙醇回收廠」4大回收處理廠區，將廢棄資源再生成為高價值的工業級原料與電子級原料，回到半導體製程中，藉此實現循環經濟模式，降低環境負荷。

其中，「有機溶劑熱回收廠」將台積電竹科、中科的廢溶劑全部進行回收，經由燃燒爐焚化後，產生1000度高溫煙道氣藉由鍋爐進行熱回收，後續經過一連串的空汙防治設備處理，確保產出的煙道氣能優於法規標準，再對外進行排放。未來將評估再透過薄膜技術導入煙道氣「碳捕捉」，希望能進行90%碳捕捉，以減少溫室氣體的排放。


有機溶劑熱回收廠處理流程

半導體晶圓在製造過程中，會使用一些化學品，殘留在晶圓表面，因此在清洗時，除了使用純水清潔外，還會進一步使用有機溶劑來去除不純物。這些使用後的廢溶劑會被收集下來；過往是送到焚化爐進行燃燒。

而在零廢中心，廢混和有機溶劑經由燃燒爐焚化，進行熱裂解後，產生1000度高溫煙道氣，再從鍋爐加水進行熱回收，產出的蒸氣提供給隔壁異丙醇回收廠使用。

產完蒸氣的煙道氣還有330度，再進行第2次熱回收，把要進焚化爐的空氣先做預熱，後續再經過一連串的空汙防治設備處理，確保產出的煙道氣能優於法規標準，再對外進行排放。


有機溶劑熱回收廠已在今年8月開始運轉，滿載時每月收受量為1,300公噸，每小時可產出15公噸之蒸氣。

整座零廢製造中心試運轉期間，所產出的再生產品已達到100%允收標準，提供給台積電及其他產業作為再利用的原物料。以全廠區滿載計，每年可為台積電減少13萬公噸廢棄物委外處理量，佔台積中科廠區廢棄物總量的85%以上，創造逾台幣12億元回收減廢效益。


〈零廢中心Profile〉

座落於中部科學園區，與台積電先進封測五廠相鄰

建設時程：
2018年 取得中部科學園區管理局支持，展開台中零廢製造中心建設規劃
2020年 台積電董事會決議，正式投資建置台中零廢製造中心
2021年 台中零廢製造中心啟動建置
2023年 台中零廢製造中心試運轉

建築占地總面積：4.5萬平方公尺，約等同於6座標準足球場
樓層數：地上3層、地下2層