2025-04-30 17:14
台積電攜手工研院推動極紫外光(EUV)製程餘氫資源化計畫,提升製程中殘餘氫氣的使用效益,創新研發30瓩混氫燃料電池發電系統,今年進一步以150瓩進行混氫燃料電池開發設計,目標將EUV製程的餘氫100%轉化為電力。
本網站使用Cookie以便為您提供更優質的使用體驗,若您點擊下方“同意”或繼續瀏覽本網站,即表示您同意我們的Cookie政策,欲瞭解更多資訊請見